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详情介绍
RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种冬样的液体,液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阳材料,超纯水和清洗田化学剂比如碱,有机溶剂和氢氧酸,另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线规试。
液体颗粒传感器
测量液体中0.1μ尘的颗粒
计数效率高,可以用少量样品进行测量
使用石英作为电池
液体颗粒传感器,与氢氟酸兼容
测量化学溶液中0.1μ尘的颗粒
计数效率高,可以用少量样品进行测量
蓝宝石用于电池
光源 镭射二极管(波长:830nm,额定输出:200mW)
镭射材料 KS-42A 人造石英PFA
KS-42AF 蓝宝石PFA(可测氢氟酸)
流量 10ml/分钟
粒径范围(5通道) ≥0.1µm,≥0.15µm,≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm标配(可选≥1.0µm)
可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.1,0.13~0.5µm
粒子数量 1200颗/ml
电源 DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量 125×240×151mm,大约:4kg
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